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产品系列名称——系列编号

是温度传感器直接镶嵌在晶圆表面，对晶圆表面的温度进行实时测量。通过晶圆的测温点可以获知特定晶圆位置的真实温度测量值以及整体晶圆温度分布:同时可以实时监控控温过程的温度变化，实现升温、降温过程以及恒温过程期间的温度数据。并可获知炉温温度的均匀度。

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